半導体・電子部品の製造装置

プラスチックパッケージやリードフレーム、液晶基板のクリーニングなどの完全ドライ処理を目的としたプラズマドライ洗浄装置です。
低価格、コンパクト設計な装置から、量産に対応した装置まで幅広く取りそろえています。

高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で、シリコンウエハーやITO電極の表面クリーニングなどを行う、各種半導体プロセスのためのドライプロセス機器です。UVと放電によるオゾン（O3）を併用しているため、高効率のクリーニングが可能です。