半導体・電子部品の製造装置

• 
• 
• 
• 
• 
• 

サムコはパワーデバイスへの応用が期待されるSiCやGaNといった化合物半導体の加工用のプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、プラズマ洗浄装置を取り揃えています。