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UV-Ozone Cleaners

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莎姆克的紫外光-臭氧(UV-O3)洗淨設備結合了紫外光、高濃度臭氧以及加熱型承座來進行完全乾式以及零損傷的洗淨製程。

UV-1

UV-1

  • 桌上型設備
  • 加熱型承座
  • 最大可處理6英吋晶圓
  • 低成本

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UV-2

UV-2

  • 桌上型設備
  • 抽屜型承座
  • 最大可處理8英吋晶圓
  • 加熱型承座

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UV-300

UV-300

  • 桌上型設備
  • 最大可處理12英吋晶圓
  • 旋轉及加熱型承座
  • 兩台臭氧產生器

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UV-300H

UV-300H

  • 最大可處理300mm的晶圓
  • 加熱型承座
  • 高密度臭氧產生器
  • 抽屜型承座

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UV-300HC

UV-300HC

  • 腔體-腔體型設計
  • 可控制溫度(自環境溫度至300℃)
  • 高密度臭氧產生器
  • 具有兩個各自可容納12個晶圓載盤的晶圓裝卸腔體

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