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Plasma Cleaners

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電漿洗淨設備是為了清洗微電子塑料封裝、導線架以及LCD電路板等產品所設計的。莎姆克的洗淨設備適合研發、試製生產和量產等各種目的。

PC-300

PC-300

  • 具有RIE和電漿模式
  • 可儲存多步驟製程配方
  • 可儲存100個製程配方
  • 塑料封裝的洗淨
  • 可清除有機物

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PC-1100

PC-1100

  • 3種製程模式(RIE、電漿和順流式電漿)
  • 可調整電極板高度
  • 可儲存製程配方
  • 緊湊型設計

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PXA-100

PXA-100

  • 最大可處理50×200mm的材料
  • 導線架的洗淨
  • 高效率(12~30秒/枚)
  • 觸碰螢幕

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