製程資料

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以下是使用莎姆克設備進行處理過後的SEM照片。

OPTOELECTRONICS

光電信號轉換器大多是由化合物半導體做成的。主要的裝置有LED、雷射二極體及光波導。其中,自從藍色LED問世後,LED的應用正以極快的速度增加。

Electronic Components

莎姆克的技術除了應用在半導體感應器(如壓力感應器、磁力感應器)、使用於手機和GPS天線等的高頻裝置之外,SAW濾波器等所有通信與電子機器的製造過程中也會使用到。另外,莎姆克近來也正積極朝Micro-TAS等的生物領域發展。

Silicon

TSV(矽穿孔)的應用正在擴大。在這裡介紹TSV加工、奈米級多晶矽的高非均向性加工等矽領域的加工例子。

Packaging, Surface Treatment

近來隨著半導體封裝技術的進步,對於基板表面洗淨的機能要求也越來越高。在這裡將介紹莎姆克擁有高信賴性的表面洗淨技術。

Display Devices

這裡將介紹有關有機EL、液晶顯示器及電漿顯示器的加工例子。

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