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MEMS Process Flow Diagram

絕緣層覆矽基板(SOI)

Si, SOI Substrate

曝光/顯影

MEMS

矽的高速深蝕刻

RIE-800iPB

RIE-400iPB

蝕刻矽

MEMS

乾式洗淨

PC-1100

清除光阻劑

MEMS

清除二氧化矽犧牲層

MEMS

MEMS(梳狀)

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