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Laser Diode

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Manufacturing Flow Diagram

MOCVD

GaN外延成長

Laser Diode

曝光/微影

Laser Diode

乾式蝕刻

RIE-200iP

蝕刻

Laser Diode

乾式洗淨

UV-300HC

清除光阻劑

Laser Diode

電漿CVD

PD-220NL

PD-3800L

沉積鈍化膜

Laser Diode

乾式蝕刻

RIE-200iP

蝕刻以露出p-接觸層

Laser Diode

以濺射方式成長p-電極

通過濺射鈀(Pd)及鉑(Pt)來成長p-電極

Laser Diode

背面拋光

從晶圓背面去除GaN至100µm厚

Laser Diode

成長n-電極

依序濺射鈦(Ti)、鉑(Pt)及金(Au)來成長n-電極

Laser Diode

劈裂

Laser Diode

電漿CVD

PD-220NL

PD-3800L

成長反射層

Laser Diode

乾式洗淨

PC-1100

封裝雷射二極體

在封裝及接合前進行電漿洗淨

Laser Diode

雷射二極體

MEMS

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