ニュースリリース

2015年

2015年12月01日

スウェーデンのSiCエピタキシャル成膜装置メーカーと販売代理店契約を締結

 当社は、スウェーデンの炭化ケイ素(SiC)エピタキシャル成膜装置メーカーのEpiluvac AB(以下Epiluvac社、本社 ルンド市イデオンサイエンスパーク)と同社製品のグローバルな販売代理店契約(日本、台湾、シンガポール、マレーシア、フィリピンは独占契約)を2015年12月1日付けで締結しました。
 Epiluvac社は世界の代表的な研究機関で使われるSiCエピタキシャル成膜装置の開発、製造、販売に長年携わってきた同社の経営陣らによって2013年に設立され、パワー半導体向けを中心とするSiCエピタキシャル成膜装置の開発、製造を行うベンチャー企業です。
 当社は、既存製品であるプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置にEpiluvac社のSiCエピタキシャル成膜装置を加えてSiCパワー半導体向け製品のラインナップ化を図り、ワンストップソリューション(一貫製造ライン)を更に積極的に展開してまいります。


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SiCエピタキシャル成膜装置『EPI 1000-C』