会　　　　期：2015年4月22日（水）－24日（金）

会　　　　場：パシフィコ横浜

ブースNo. ：C-2

昨年度より春にパシフィコ横浜で開催されるようになりました『ナノ・マイクロビジネス展／ROBOTECH』が4月22日から24日まで開催されます。MEMS（微小電気機械素子）、超精密・微細加工、ナノテク、バイオと応用システム、ロボット技術を産業に結びつける国際見本市であり、近未来の生活・社会を支えるデバイス製造技術からアプリケーションまで先端技術・製品が一堂に集結致します。

当社は、MEMS向け本格量産用高速シリコンディープエッチング装置『RIE-800iPBC』や3次元LSIプロセスへの応用で高く評価されているTEOS-SiO₂膜形成用プラズマCVD装置を最新の技術データとともに展示致します。

本展示会は同時開催プログラムも充実しており、国内外の第一線で活躍する専門家による多彩なセミナーやシンポジウムが連日予定されております。当社も最終日の24日に「シリコン深掘り技術の最新動向」というテーマでプレゼンテーションを行います。

皆さまのご来場をお待ちしております。

出展者プレゼンテーション

「シリコン深掘り技術の最新動向」サムコ株式会社

日時：4月24日（金）14:00~14:20

場所：パシフィコ横浜　プレゼンテーションルーム