半導体・電子部品の製造装置

　最先端のモノづくりに欠かすことのできない基盤技術 「ナノテクノロジー」に関する世界最大の展示会であるnano tech 2012 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議が2月15日から17日までの3日間、東京ビッグサイトで開催されました。nano tech では、ナノ材料・素材、超微細加工技術、評価・計測分野をはじめ、各応用分野に対応した最新技術・製品が一堂に集結しました。

　当社は、TSVプロセスの一貫製造ラインを提供する"One Stop Solution"のほか、環境関連機器に不可欠なキーデバイスとして注目を集めているパワーデバイスや高速デバイスで、特に今後の展開が大きく期待されるGaNのナノレベルの微細加工技術を紹介し、多くのご来場者様に関心を寄せて頂きました。

nano tech 2012 の当社ブースの様子