> プロセスデータ > 表示デバイス分野
フイルム上に封止膜用SiN膜を形成。同一の液体原料を用いて封止性が高いSiN膜と、クッション性を持つ応力緩和のSiN膜を積層させた。フイルム上であっても反りが少なく、クラックも観察されない。厚膜化が可能であり、有機ELの封止膜に最適な膜質を達成している。 PD-270STP、PD-220NLによる成膜
逆メサ形状への封止膜用SiN膜形成 PD-3800Lにて成膜可能
エミッタティップ作製のためのSiの等方性エッチング 《産業技術総合研究所 つくばセンター提供》 RIE-200NLにて加工可能
Samco-Interview 科学者様、研究者様へのインタビューをご紹介
![サムコ株式会社[samco ® Partners in Progress]](http://www.samco.co.jp/products/img/hd_logo.gif){kind=logo}
> プロセスデータ
> 表示デバイス分野
