半導体・電子部品の製造装置

PD-2203L（クラスターラボ）は、ロードロック室を中心に反応室を3室まで設置することが可能なモジュール方式の研究試作用プラズマCVD装置です。同一反応室で異種プロセスを連続して行う場合、相互汚染が生じやすく、作業効率の低下につながります。 本装置は、複数のプラズマ反応室を設置することで、それぞれ独立したプラズマ処理専用の反応室として使用することが可能なクラスタータイプのプラズマCVD装置です。ロードロック室を経て真空状態のまま試料を搬送し、異なる成膜プロセスを連続して行うことが可能です。 本装置には、反応室3室タイプ（Model:PD-2203L）のほか、反応室1室タイプ（Model:PD-2201L）と2室タイプ（Model:PD-2202L）もあり、PD-2201LとPD-2202Lは、オプションの反応室ユニット（Model:PD-2201a）の増設で装置納入後もプラズマ反応室を最大3室まで設置することが可能です。