半導体・電子部品の製造装置
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サムコ株式会社公式サイト
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製品一覧
サムコ株式会社の製品をご紹介します。各製品詳細ページより製品の基本情報等がご確認頂けます。
MO-CVD装置
プラズマCVD装置
LS-CVD®装置
RIE装置
ICPエッチング装置
高速Siディープエッチング装置
その他
プラズマクリーナー
UVオゾンクリーナー
MO-CVD装置
CVD装置
プラズマCVD装置
LS-CVD®装置
エッチング装置
RIE装置
ICPエッチング装置
高速Siディープエッチング装置
その他
洗浄装置
プラズマクリーナー
UVオゾンクリーナー
Samco-Interview
科学者様、研究者様へのインタビューをご紹介